Để phân hủy một chất ở dạng khí hoặc hơi có hại cho môi trường thành một hay nhiều chất khác ít hoặc không độc hại có thể thực hiện bằng nguồn nhiệt - phân hủy nhiệt hoặc phân hủy thông qua các phản ứng hóa học, hoặc kết hợp cả hai như phương pháp đốt. 

Thiêu hủy bằng nhiệt 
Phương pháp này phù hợp với khí thải chứa các hợp chất hữu cơ như các hơi dung môi, hơi lò cốc hoá than, hơi đốt... 
Trong điều kiện nhiệt độ cao các chất hữu cơ sẽ bị phân huỷ thành than: khí và hơi nước. Muốn phân hủy thành than, khí và hòi nước nhiệt độ phân hủy đòi hỏi phải cao và tốc độ phân hủy thường chậm. Vì vậy người ta thường tiến hành phân huỷ nhiệt với sự chó mặt của các chất xúc tác.

Thiêu hủy bằng phương pháp hóa học 
 

Đối với các chất hữu cơ độc hại như thuốc trừ dịch hại, người ta thường sử dụng các phản ứng oxy hóa khử hoặc thủy phân trong môi trường thích hợp để thay đổi cấu trúc phân tử hay dạng tồn tại của chúng trở thành các sản phẩm ít hoặc không có hại đối với người và động thực vật. 

Thí dụ:
 * Phản với ôzôn có một tia cực tím 
Ôzôn hóa kết hợp với chiếu tia cực tím là phương pháp rất có hiệu quả đối với chất thải hữu cơ hoặc dung môi. 

Thiêu hủy bằng phương pháp đốt 
Đất là phương pháp hay dược dùng khi mà sản phẩm đó không thể tái sinh hoặc thu hồi được. Quá trình đốt thực chất là quá trình tiêu huỷ bằng nhiệt nhưng luôn phải có mặt không khí. San phẩm của quá trình đốt này thường là CO2., hơi nước và các khí không hoặc ít độc hại. Nhiệt độ đòi hỏi cho việc đốt khí và hơi thải thường phải từ 800-1000oC. Có 2 cách để đốt:

 1. Đốt không có chất xúc tác 
Nhiệt độ của quá trình thiêu đốt này không đòi hỏi quá cao để phân huỷ hoàn toàn chất và thường dùng khi nồng độ các chất độc hại cao (vượt quá giới hạn bốc cháy). Ví dụ như đốt khí đồng hành trong khai thác dầu mỏ. 
Sơ đồ của một quá trình đốt không xúc tác như sau:

                       
                                                        Sơ đồ đốt không xúc tác 

2. Đốt có xúc tác 
Trong phương pháp này người ta sử dụng các kim loại có bề mặt rất phát triển như bạch kim, đồng, niken làm chất xúc tác. Nhiệt độ thiêu đốt thấp (từ 50-300oC).

Sơ đồ của quá trình đốt có xúc tác 

Phương pháp này thích hợp với các khí thải độc hại có nồng độ thấp, gần với giới hạn bắt lửa. So với đốt không xúc tác thì nó rẻ tiền và sản phẩm thường an toàn hơn. Dưới đây là mô hình của một số thiết bị xử lý khí bằng phương pháp dốt dạng phun.

                   
                                                                      Đốt dạng phun
NguồnMTX